上海弥正气体有限公司
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三氟甲烷 （CHF3)
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项目名称 |
纯度指标（%） |
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三氟甲烷 |
≥99.999 |
≥99.9 |
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杂质含量（ppm) |
水（H2O） |
≤3 |
≤10 |
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氧气（O2） |
≤2 |
- |
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氮气（N2） |
≤5 |
- |
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二氧化碳（H2SiF6) |
≤3 |
≤100 |
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酸度（Acidity) |
≤0.1 |
≤1 |
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包装：采用40L、47L钢瓶充装，也可根据客户需要分装到8L的气瓶中。
用途：用作电子工业等离子体化学蚀刻剂、低温（-100℃）制冷剂及氟有机化合物的原料。
理化性质: 是一种无色、微味，不导电的低毒类气体，是理想的卤代烷替代物。高浓度三氟甲烷具有窒息麻醉作用，对脑神经有损害。液体接触时可能引起冻伤。
注意事项：储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与氧化剂、易（可）燃物分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
