品名

浓度 (%)

平衡气体

压力(MPa)

容积(L)

阀门

硅烷混合气体

0.5-50

Ar、N₂、He、H₂

5-12

4-47

可根据用户要求提供

磷烷混合气体

5ppm-23

Ar、N₂、He、H₂

5-12

0.7-17

硼烷混合气体

5ppm-10

Ar、N₂、He、H₂

5-10

4-17

砷烷混合气体

5ppm-5

Ar、N₂、He、H₂

5-12

0.7-17

硒化氢混合

10ppm-5

Ar、N₂、He、H₂

5-12

4-17

乙硅烷

5ppm-2

Ar、N₂、He、H₂

≥5

0.7-17

锗烷

5ppm-0.5

Ar、N₂、He、H₂

≥5

0.2-17