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三氟化氮 （NF3)
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项目名称 |
纯度指标（%） |
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三氟化氮 |
≥99.99 |
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杂质含量（ppm) |
氮气（N2） |
≤5 |
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氧气+氩气（O2+Ar） |
≤3 |
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二氧化碳（CO2） |
≤5 |
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一氧化碳（CO) |
≤1 |
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四氟化碳（CF4) |
≤40 |
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水（H2O） |
≤1 |
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六氟化硫（SF6） |
≤5 |
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氟化氢（HF） |
≤1 |
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氧化亚氮（N2O） |
≤5 |
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包装：采用44L、47L钢瓶充装，也可根据客户需要分装到8L的气瓶中。
用途：NF3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅的蚀刻，采用NF3和CF4＋O2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染。
理化性质: 在常温常压下 , 三氟化氮为无色、无臭、性质稳定的液化气体，高纯三氟化氮几乎没有气味，它是一种热力学稳定的氧化剂，大约在 350 ℃左右可离解成为二氟化氮和氟气，故其反应性相似于氟。
注意事项：
1.在70℃以下NF3气体对普通金属是不腐蚀的，因此钢、铜、镍、铝和不锈钢在70℃以下均可用作包装材料。用钢瓶和铝合金瓶充装，对气瓶每两年要检验一次。按有毒高压液化气体规定运输，国外规定可以用汽车、火车运输，不能用飞机运输。气瓶充装系数不大于0.01。
2.储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、还原剂、食用化学品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
