上海弥正气体有限公司
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硅烷 (SiH4)
项目名称 |
纯度指标(%) |
|
硅烷 |
≥99.9999 |
|
杂质含量(ppm) |
氩气(Ar) |
≤0.05 |
氯硅烷(Chlorosilane)) |
≤0.15 |
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乙硅烷(Si2H6)) |
≤0.5 |
|
氦气(He) |
≤1 |
|
一氧化碳(CO) |
≤0.05 |
|
氧气(O2) |
≤0.05 |
|
氮气(N2) |
≤1 |
|
氢气(H2) |
≤20 |
|
二氧化碳(CO2) |
≤0.05 |
|
甲烷(CH4) |
≤0.05 |
|
碳(C) |
≤0.2 |
|
二氯二氢硅(SiH2Cl2) |
≤0.5 |
|
甲基硅烷(CH3Si) |
≤0.5 |
|
金属离子(Metals) |
≤0.03 |
包装:采用44L、47L钢瓶充装,也可根据客户需要,分装到8L的气瓶中。
用途:硅的外延生长、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太阳能电池,光导纤维,有色玻璃制造,化学气相淀积。
理化性质: 硅烷在常温常压下为具有恶臭的无色气体。在温室下着火,在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧。即使用其他气体稀释,如果浓度不够低,仍能自燃。硅烷在氩气中含2%,氮气中含2.5%,氢气中含1%,它仍能着火。硅烷浓度在小于1%时不燃,大于3%时自燃,1%~3%时可能燃烧。
注意事项:使用硅烷的工作场所要通风,保持室内空气干燥。硅烷装置要严格密封,避免和空气、水分相接触,为此,用气装置在使用前要用惰性气体置换里面的空气后抽真空,这样反复进行置换和抽真空,一定要彻底清除系统中的空气和水分。装置使用以后,也要用惰性气体置换清洗系统中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少量硅烷泄漏时,从氧化硅粉末的折出中也可以得知。钢瓶要存放在阴凉干燥通风良好之处,要远离热源和氯、溴等氧化剂。工作场所要配备足够的防护用品及应急用品。硅烷无腐蚀性,可以使用碳钢、不锈钢、铜、黄铜、蒙乃尔、耐蚀镍基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、尼龙、三氟氯乙烯树脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用铅、橡胶、脂肪、润滑油、玻璃。凡是可燃性的有机高分子材料应该避免使用。当硅烷大量泄漏时。紧接着就要着火,所以无法用灭火器灭火。但是可以控制火势,使火灾不向周围蔓延。燃烧时辐射热不太高,所以应尽可能去关闭阀门以止住气体的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。废气可用水或碱吸收,或者在特殊燃烧器中燃烧成SiO2之后用专门的过滤器捕捉。储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。密闭操作,局部排风。操作人员必须经过专培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具(半面罩)。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。